Platine de translation compatible vide
Course de 50 à 250mm
Capacité de charge jusqu’à 10Kg
Répétabilité ≤1µm
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Micro-positionnements XY compatible vide
Courses 12,5mm ou 25mm
Capacité de charge jusqu’à 20Kg
Répétabilité jusqu’à +/-0,2µm selon l’entrainement
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Platine de micro-positionnements sous vide
Course de 50 à 250mm
Capacité de charge jusqu’à 30Kg
Répétabilité jusqu’à +/-0,05µm selon option
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Platine de rotation de grande précision sous vide
Capacité de charge jusqu’à 15Kg
Répétabilité jusqu’à +/-0,0001° selon option
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Applications
